HOYA激光故障分析

半导体激光器失效机理与案例分析：

2）欧姆接触如果芯片和焊料存在较大的热失配，激光器在焊接或工作时会导致材料界面产生应力集中，进而引起焊料开裂或芯片裂损。此外，在焊接激光器时，芯片和焊料间存在焊接空隙会导致激光器发生失效，同时焊接中的焊料溢出也易导致PN结短路。

3）腔面退化腔面退化是激光器区别于其他微电子器件的一个失效模式。由于激光器有源区材料中含有Al或In元素，且当芯片设计制造工艺均匀性或一致性较差时，Al、In元素在高功率工作下会发生融化或再结晶，导致腔面出现杂质或缺陷，从而使该区域温度不断升高，面的电流密度继续增大导致该区域温度进一步升高，终导致灾变光学损伤。

4）环境污染环境污染是导致半导体激光器失效的外界因素，主要原因为灰尘、水汽、离子污染物等颗粒进入半导体激光器内部，附着在芯片表面引起短路或开路，导致器件失效。在芯片制造中，光刻类似于胶片相机中利用底片进行洗制照片的过程。HOYA激光故障分析

激光

激光打标机常见的五种故障分析：

3.激光打标机的标识薄膜粘版产生原因：热压温度高于降解温度，涂料黏性加大就会造成粘版而使薄膜缠绕在全息压印辊上。解决方法：降低热压温度。

4．激光打标机的标识图案暗淡无光解决方法：检查加热温度是否太低，模压压力是否下降。工艺控制要点：模压压力的设定应综合考虑模压温度、全息材料的种类或涂料层软化点模压版的情况等。压力过高，模压版易损坏或将全息材料压坏；压力过低，模压图像不清楚、不完整；对于圆压圆方式，两边压力辊的初始压力一般在0．08MPa左右；模压开始后慢慢将压力辊的压力均匀加大至030～0．50MPa。模压速度可根据压印质量机器性能等综合调节。

5．激光打标机的标识图案一块清楚一块模糊产生原因：热压装置的温度分布不均匀或者模压版不平整。HSL-5500激光产品介绍激光掩膜版的功能类似于传统照相机的底片。

激光开封的目的：开封后，我们能清晰看到芯片表面状态，观察芯片划片道是否有崩边、裂纹，观察芯片表面是否存在异常，观察芯片logo信息，测量芯片尺寸和键合线线径，观察键合线材质，观察钝化层的完整性等芯片内部信息。

芯片开封前用X射线透（tou）视（shi）仪观察晶圆在塑封中的位置并识别键合线类型，在激光开封机上对应芯片晶圆位置，选择合适开封区域（大于晶圆位置即可，开封后要保证有一个凹槽，防止下一步腐蚀液外溢，损伤引脚），选择合适的扫描速度和功率，激光开封机减薄至键合丝出现，待化学开封。

常见、有代表性的激光应用之激光清洗：可看做是一种烧蚀工艺，通过将激光能量汇聚到材料表面并被吸收后使表层、涂层气化的工艺过程，同时对底层基材的影响小。该工艺可应用于多种材料，包括金属、塑料、复合材料和玻璃。

常见、有代表性的激光应用之激光熔覆：使用激光作为热源将金属涂层添加到部件表面上的过程。该工艺通常用于生成功能性更高的保护涂层及修复损坏或磨损的表面。激光熔覆可延长部件受到腐蚀、磨损或冲击的设备和机器的寿命。如，工程机械行业采用该技术提高其产品的耐磨性并延长设备的使用寿命。通常，利用激光来熔化金属粉末，以在基底上添加涂层，可在钢或不锈钢基材上应用保护涂层，例如碳化钨、镍合金或钴合金。该工艺可在涂层和基体材料之间形成高结合强度和低稀释率的冶金结合，从而增强金属的防腐蚀性与耐磨性。超快激光玻璃微加工。

常见、有代表性的激光应用之激光光源：如，用半导体激光合成白光光源。

常见、有代表性的激光应用之激光通信：激光大气通信的发送设备主要由激光器（光源）、光调制器、光学发射天线（透镜）等组成；接收设备主要由光学接收天线、光检测器等组成。

常见、有代表性的激光应用之激光笔：是把可见激光设计成便携、易握的笔型发射器。常见有红光(650-660nm, 635nm)、绿光(515-520nm, 532nm)、蓝光(445-450nm)和蓝紫光(405nm)等，功率常以毫瓦为单位。会报、教学、导赏人员会使用它投映出光点或光线指向物体，不可对人，尤其需注意人眼防护。光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。micro led激光种类

激光技术是20世纪与原子能、半导体及计算机齐名的四项重大发明之一。HOYA激光故障分析

为什么没有一种激光器能做全部或几种工艺？

每一种工艺类型都要求不同的激光波长、能量分布、以及外光路设计。激光聚焦点能量密度那么大，怎么能控制不烧坏，以及热效应？激光是高度可控的。塑封层的汽化临界温度，离邦定线的熔化温度差距很大，使用CLC公司第四代APEX激光控制板卡，容易控制适合的激光能量密度范围，既保证塑封层汽化，又不损伤邦定线。ECO-BLUE光化学工艺过程，起主导作用并非高速扫描的激光，而是光化学溶剂。激光剖面的热效应控制，主要是超快激光器高频脉冲，使光子能量在时间维度上聚集，超高峰值功率瞬间汽化剖面线，使得热效应区微小至可忽略。HOYA激光故障分析

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